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“16mm 係列"— Linear16-x (閉環控製)
低溫 · 壓電運動- 線性位移係列
最⼩的線性位移台,⽀持閉環控製
線性位移台Linear16-x 主要特征
• 緊湊設計, 尺⼨ : 16*16*10.5 mm
• 超⾼真空 & 超低溫兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK
• ⽆磁材料(純 Ti & BeCu),最⾼兼容 18 Tesla 磁場
• 超⾼負載 & 超⾼推⼒ : 50 g & 1.5 N
• ⼤⾏程 : 3 mm
• 閉環控製,內置位置傳感器, 最⼩位置分辨率 0.1 um
⼆維尺⼨

*所有數據均通過50歐姆線纜測量. 雖然對導線的電導率沒有要求,但91看片软件建議電阻低於50歐姆。
| 可選版本 ⇨ | .HV (默認) | .ULT | .UHV | .ULT.UHV | |
| .HV ⾼真空版本,默認產品; .ULT 超低溫版本, 兼容氦-3製冷係統 & 稀釋製冷機 .UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar | |||||
| 1 三維尺⼨ | 16 × 16 mm × 10.5 mm | ||||
| 2 質量 | 10 g | ||||
| 適⽤環境範圍 | |||||
| 
 3 基礎參數 | 溫度範圍: 1.4 ~ 400 K 最di真空度: 2e-7 mbar 最⼤磁場: 18 Tesla | ||||
| 4 可選1 - 30 mK | ✓ | ✓ | |||
| 5 可選2 - 2e-11 mbar | ✓ | ✓ | |||
| 材質 | |||||
| 6 主體 | Pure Ti | BeCu | Pure Ti | BeCu | |
| 7 線纜 | 磷⻘銅雙絞線,20cm | ||||
| 8 針腳材質 | 聚酯材料(玻璃纖維填充), BeCu | Peek, BeCu | |||
| 9 針腳數量 | 驅動 - 2 pins, 傳感 - 3 pins | ||||
| 運動參數 | |||||
| 10 ⾏程 | 3 mm | ||||
| 11 最⼤運動速度 @300 K | ~ 2 mm/s | ||||
| 12 驅動電壓 | Max. 200 V | ||||
| 13 最⼤負載 | 50 g | ||||
| 14 最⼤推⼒ | 1.5 N | ||||
| 傳感器(閉環) | |||||
| 15 位置傳感器 | 電阻傳感 | ||||
| 16 傳感器⾏程 | 3 mm | ||||
| 17 傳感器分辨率 | ~ 150 nm | ||||
| 18 重複定位精度 | 1 - 2 um | ||||